Эксергетический анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений микроэлектроники

Одним из условий развития микроэлектроники в настоящее время является ее обеспечение современной инфраструктуры включающее в себя чистое помещение (ЧП) и систему кондиционирования воздуха (СКВ), служащую для подготовки и обеспечения параметров ЧП заданного класса. В данной работе объектом исследования является система кондиционирования воздуха ЧП. Цель работы - анализ энергоэффективного использования воздуха для ЧП микроэлектроники. Для реализации поставленной цели необходимо решить следующие задачи: 1) Провести анализ основных методов энергосбережения для СКВ ЧП; 2) Установить показатели энергоэффективности СКВ; 3) Конкретизировать требования, предъявляемые к ЧП различных классов; 4) Провести анализ различных схем воздухоподготовки; 5) Рассмотреть основные теоретические положения термодинамического анализа СКВ на примере эксергетического анализа СКВ ЧП; 6) Провести расчет эксергетических потерь ПС и РК в теплый и холодный периоды года; 7) Сформулировать выводы. Характерной особенностью микроэлектроники является неотъемлемая взаимосвязь системы СКВ с атмосферными показателями природно-технической геосистемы, которые в свою очередь оказывают влияние на работу всего комплекса воздухоподготовки чистых помещений. В микроэлектронике для выполнения технологического процесса требуется соблюдения специальных внутрипроизводственных параметров воздуха в ЧП (класс чистоты, запыленность воздуха, микроклимат и др.). По стандарту ГОСТ Р ИСО 14644-1: «Чистое помещения и связанные с ними контролируемые среды». «ЧП – это помещение, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и позволяющее, по мере необходимости, контролировать другие параметры, например, темпера-туру, влажность и давление». Главная цель ЧП состоит в обеспечении требуемых параметров внутрипроизводственного воздуха ЧП в соответствии с заданными классом чистоты. Результаты выпускной квалификационной работы (ВКР) докладывались и обсуждались на 24–ой Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2017». Основные положения выпускной работы опубликованы в пяти научных трудах. ВКР состоит из введения, двух глав (озорной и расчетной), выводов и списка литературных источников из 23 наименований. Общий объем работы составляет 57 стр.

Энергетика и рациональное природопользование
Дипломы

ID: 59c2741f5f1be704a800aa44
UUID: c3c1b120-8039-0135-c1e7-525400003e20
Язык: Русский
Опубликовано: 3 месяца назад
Просмотры: 162

Артем Захаров


0

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт


Поделиться работой
Current View

- у работы пока нет рецензий -
Для лиц старше 18 лет