Растровая электронная микроскопия шаговых рельефных структур

НИР. Объектом исследования является объект с шаговой рельефной структурой с известным шагом. Цель работы — изучение методов работы растрового электронного микроскопа, получение навыков анализа и обработки данных, определение масштабного коэффициента при различных параметрах микроскопа, измерение ширины выступа методом дефокусировки и сравнение её с шириной, измеренной в [1]. В работе использовался микроскоп JSM-7001F, с помощью которого были получены видеоизображения исследуемых периодических структур. В результате работы измерены масштабные коэффициенты и ширина выступа.

Физика
Исследования

Вуз: Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

ID: 56c4f71c5f1be746330004da
UUID: 93b8fbb0-da50-0133-229e-525400003e20
Язык: Русский
Опубликовано: около 2 лет назад
Просмотры: 562

163.46

Дмитрий Додонов

Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)


4

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт


Поделиться работой
Current View

- у работы пока нет рецензий -
Для лиц старше 18 лет