Оптическая микроскопия периодических рельефных структур на основе монокристаллического кремния

НИР. Объектом исследования являются: периодические рельефные структуры, сформированные на поверхности пластины монокристаллического кремния методом анизотропного травления. Цель работы: изучение методов работы оптического микроскопа, получение навыков анализа и обработки данных, измерение периода и скважности кремниевых структур, определение максимального разрешения микроскопа в различных режимах работы, определение распределения частиц загрязнения по их размеру. В работе использовался микроскоп Olympus BX51M, с помощью которого были получены снимки исследуемых периодических структур. В результате работы были измерены шаг и скважность структур, получено распределение частиц загрязнения по их размеру, а также была произведена оценка погрешности и максимального разрешения микроскопа в разных режимах работы.

Физика
Исследования

Вуз: Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

ID: 56c4f2a55f1be746330004c2
UUID: 27e448e0-da50-0133-2296-525400003e20
Язык: Русский
Опубликовано: больше 2 лет назад
Просмотры: 654

174.48

Дмитрий Додонов

Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)


5

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт


Поделиться работой
Current View

- у работы пока нет рецензий -
Для лиц старше 18 лет