Просвечивающая электронная микроскопия. Калибровка просвечивающего электронного микроскопа. Измерение линейных размеров объектов.

НИР. Цель работы: Получение первичных навыков работы за просвечивающим электронным микроскопом, изучение способов определения масштабного коэффициента для требуемых увеличений, изучение способов измерения линейных размеров исследуемых объектов. Данная работа посвящена изучению основных принципов работы просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) и получению изображений в ПЭМ в различных режимах его работы. Кроме того, исследуются источники неопределенностей при получении изображений, и оцениваются величины погрешностей. Работа состоит из следующих частей: – изучение устройства и принципа работы ПЭМ; – изучение методов подготовки образцов; – расчет масштабного коэффициента для различных увеличений; – ширину исследуемой структуры.

Физика

Исследования

Вуз: Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

ID: 56c4f53d5f1be746330004d6

UUID: 982831e0-d9e6-0133-20db-525400003e20

Язык: Русский

Опубликовано: около 2 лет назад

Просмотры: 685

163.46

Дмитрий Додонов

Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт

Поделиться работой

- ( ) : . . . , 2015

___________________________ , ____________________________ .. , ____________________________ .. , ____________________________ .. , ____________________________ .. , 2

15 ., 12 ., 2 . : , , . () . , , . : ; ; ; ; 3

. , , .. , , . . , , , , , , ( , ..). , , . , .. , . 4

1 , 1.1 . ( 1.1.1) , , , , . , , . , ~10 , . 1.1.1 . V- . (LaB6) - . . . . , , . 5

( ) ( 25-200) . . . , ( ) . . , . . . , . 1.1.2-1.1.3 . 1.1.2 6

1.1.3 1.2 JEOL JEM-2100 JEOL JEM-2100, 1.2.1. : 200; ; 1500000; 20 ( ultra high resolution); 4 (1st CL, 2nd CL, 3rd CL, and condenser mini lens), 6 (objective lens, objective mini lens, 1st intermediate lens, 2nd intermediate lens, 3rd intermediate lens, projector lens); 10-5 ( ); 7

1.2.1 JEOL JEM-2100 8

2 . - , , . , , , . . , . . 1) . , ( 2.1) . , . . . . (, ). 2.1 2) ( 2.2). . . 9

3 . . 2.2 3) , , , , , , ( 2.3). 2.3 - Gatan () () . - 50 . , . . 30, 10

6-7 . 1-2 1-1,5 . 4) . - ( ) (. 2.4), . . . 2.4 5) , . , SiO2 NaCl. , ( 2.5) . , , , 3 , . 2.5 11

3. : ImageJ - ( FFT) ( 120 800) Find Maxima (.3.1) . . (.3.1), , ( 1) , . 3.3, : , . Matematica. . ( 2, P.3.4) 1 800 M, pixel/nm 68,43 600 500 400 300 250 200 150_16 150_10 120 51,51 43,74 34,92 26,322 21,834 17,118 12,948 13,068 10,371 M 3% . 2 12 13 14 15 , pixel 998.9 994.9 976.7 983.2 , nm 76.8 76.5 75.1 75.6 76 nm. 3% . 12

3.1 - - 3.2 Si [110] 13

3.3 - 3.4 14

: 1. 2 800 M, pixel/nm 68,43 600 500 400 300 250 200 51,51 43,74 34,92 26,322 21,834 17,118 12,948 2. : 2 12 13 14 15 , pixel 998.9 994.9 976.7 983.2 , nm 76.8 76.5 75.1 75.6 76 nm. 15 150_16 150_10 120 13,068 10,371

Рецензии:

Авторизуйтесь, чтобы добавить рецензию

- у работы пока нет рецензий -

Отзывы:

Авторизуйтесь, чтобы оставить отзыв