Контактный и полуконтактный метод атомно-силовой микроскопии. Оценка шероховатости наноструктур.

НИР. Объектом исследования являются: МШПС 2.0K (образец №1) и кремниевая пластина (образец №2). Цель работы — изучение методов работы АСМ, получение навыков анализа и обработки данных, калибровка АСМ с использованием МШПС 2.0К, оценка шероховатости образца №2 в полуконтактном режиме работы. В работе использовался микроскоп Ntegra Aura, с помощью которого были получены изображения исследуемых структур. В результате работы был откалиброван АСМ, оценена шероховатость пластины кремния.

Физика
Исследования

Вуз: Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

ID: 56c4f88a5f1be746330004de
UUID: 7e2388f0-d98a-0133-1fba-525400003e20
Язык: Русский
Опубликовано: больше 2 лет назад
Просмотры: 727

183.68

Дмитрий Додонов

Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)


5

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт


Поделиться работой
Current View

- у работы пока нет рецензий -
Для лиц старше 18 лет