13.12

Федоров

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (ФГБОУ ВПО «СПбГПУ»)

Студент

Атомно слоевое осаждение пленок системы Ta-O

Ключевые слова: АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ОКСИД ТАНТАЛА, НАНОПЛЁНКИ, ЛИТИЙ-ИОННЫЕ АККУМУЛЯТОРЫ, АНОДЫ. Тема выпускной квалификационной работы: «Атомно слоевое осаждение пленок системы Ta-O». Целью работы было получение наноплёнок оксида тантала методом АСО и исследование их физико-химических свойств. Для получения плёнок Ta-O использовался ме...


Химическая технология. Химическая промышленность - Дипломы
почти 3 года назад


Для лиц старше 18 лет