Исследование и анализ оптико-электронной системы регистрации атомно-силового микроскопа

Предложен метод измерения параматеров качества (Rq - среднее квадратическое отклонение высот контролируемого профиля, PSD (от англ.) - спектральная плотность мощности корреляционной функции (СПКФ) исследуемого профиля) калибровочных решеток при помощи атомно-силового микроскопа (АСМ). Проведен сравнительный анализ методов контроля положения кантилевера и принципов работы АСМ. Проанализированы экспериментальная и расчетная СПКФ, которые хорошо согласуются друг с другом как качественно, так и количественно. В результате анализа СПКФ была обнаружена зависимость пространственных частот профилей поверхности калибровочных решеток с их геометрическими размерами.

Метрология
Дипломы

Вуз: Московский государственный технический университет имени НЭ Баумана (МГТУ им. НЭ Баумана)

ID: 60eb4a27e4dde500016d3a67
UUID: 5a978ce0-c4ae-0139-3d3b-0242ac180005
Язык: Русский
Опубликовано: больше 3 лет назад
Просмотры: 8

14.16

Малахов Кирилл

Московский государственный технический университет имени НЭ Баумана (МГТУ им. НЭ Баумана)


0

Комментировать 0

Рецензировать 1

Скачать - 5,1 МБ


Поделиться работой
Current View

Рецензии:

  Авторизуйтесь, чтобы добавить рецензию

Рецензия от Малахов Кирилл
Рецензия была предоставлена д.т.н., профессором, генеральным директором компании "НТ-МДТ" Виктором Александровичем Быковом и освещают достоинства и недостатки выпускной квалификационной работы «Исследование и анализ оптико-электронной системы регистрации атомно-силового микроскопа»

больше 3 лет назад
Для лиц старше 18 лет