Исследования морфологии, атомного и электронного строения различных участков поверхности массивов нитевидного кремния

Одномерные кремниевые наноструктуры, известные как нанонити, вызывают большой интерес в науке и технике, в связи с возможностью применения в таких областях как наноэлектроника, нанооптоэлектроника, нанофотовольтаика, сенсорика, диагностика и терапия в медицине. С учетом того, что технологии формирования наноструктур кремния и нитевидного кремния в частности уже давно и крайне тщательно отработаны, для них характерны простота и дешевизна. Более того представляется возможным управлять морфологическими и структурно фазовыми свойствами нитевидного массива за счет вариации режимов формирования. Нитевидный кремний, безусловно, должен рассматриваться как перспективный материал для последующей функционализации развитой поверхности. Это относится как к верхней части нитевидного массива (верхние концы нитей) так и к глубокой части (противоположные концы нитей, близкие к подложке). Для такого интересного объекта, обладающего чрезвычайно развитой морфологией, безусловно, необходимы методы изучения и контроля состава, структуры, физико-химического состава поверхности и границ раздела, их атомного и электронного строения. К таким, прямым и неразрушающим методам относятся методы электронной микроскопии, рентгеновской спектроскопии и фотоэлектронной спектроскопии, в том числе с использованием высокоинтенсивного синхротронного излучения. Применению синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения и метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии для исследований массивов нитевидного кремния посвящена данная работа.