Эксергетический анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений микроэлектроники

Одним из условий развития микроэлектроники в настоящее время является ее обеспечение современной инфраструктуры включающее в себя чистое помещение (ЧП) и систему кондиционирования воздуха (СКВ), служащую для подготовки и обеспечения параметров ЧП заданного класса. В данной работе объектом исследования является система кондиционирования воздуха ...


Для лиц старше 18 лет