14.16

Малахов Кирилл

Московский государственный технический университет имени НЭ Баумана (МГТУ им. НЭ Баумана)


Исследование и анализ оптико-электронной системы регистрации атомно-силового микроскопа

Предложен метод измерения параматеров качества (Rq - среднее квадратическое отклонение высот контролируемого профиля, PSD (от англ.) - спектральная плотность мощности корреляционной функции (СПКФ) исследуемого профиля) калибровочных решеток при помощи атомно-силового микроскопа (АСМ). Проведен сравнительный анализ методов контроля положения к...

0

8   0   1

Метрология

Дипломы

Дата публикации: 11.07.2021 19:44


Для лиц старше 18 лет