Московский государственный технический университет имени НЭ Баумана (МГТУ им. НЭ Баумана)
Рецензия была предоставлена д.т.н., профессором, генеральным директором компании "НТ-МДТ" Виктором Александровичем Быковом и освещают достоинства и недостатки выпускной квалификационной работы «Исследование и анализ оптико-электронной системы регистрации атомно-силового микроскопа»
почти 3 года назад
Предложен метод измерения параматеров качества (Rq - среднее квадратическое отклонение высот контролируемого профиля, PSD (от англ.) - спектральная плотность мощности корреляционной функции (СПКФ) исследуемого профиля) калибровочных решеток при помощи атомно-силового микроскопа (АСМ). Проведен сравнительный анализ методов контроля положения к...
Метрология - Дипломы
почти 3 года назад
