Эллипсометрия субмикронных плёнок оксида кремния и оптических резистов с вытравленными окнами

Дмитрий Додонов

Эллипсометрия субмикронных плёнок оксида кремния и оптических резистов с вытравленными окнами

НИР. Объектом исследования являются: Плёнки SiO2 различных толщин (от 90 до 300 нм); SiNx, оптический резист -- с вытравленными окнами в плёнках. Цель работы: Получение навыков работы на эллипсометре, определение толщин и коэффициентов преломления фоторезистов, измерение толщин плёнок под различными углами падения, сравнение результатов, полученных на эллипсометре с результатами, полученными на профилометре. В данной работе использовался эллипсметр "ЭЛЛИПС-1891М". В результате работы определены толщины и коэффициенты преломления фоторезистов и толщины плёнок SiO2, определена скорость напыления плёнок SiO2, найдено, что отсутствует оптимальный угол падения.

Физика

Исследования

Вуз: Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

ID: 56c4ff675f1be746330004eb

UUID: aa029280-d916-0133-1d14-525400003e20

Язык: Русский

Опубликовано: около 8 лет назад

Просмотры: 48

93.76

Дмитрий Додонов

Московский физико-технический институт (государственный университет) (МФТИ)

Комментировать 0

Рецензировать 0

Скачать - 0 байт

Поделиться работой

( ) 53.082.531 ОТЧЁТ ПО НИР на тему: ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ СУБМИКРОННЫХ ПЛЁНОК ОКСИДА КРЕМНИЯ И ОПТИЧЕСКИХ РЕЗИСТОВ С ВЫТРАВЛЕННЫМИ ОКНАМИ. 2014

___________________________ . . , ИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИ . . , ИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИ . . ИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИ . . ИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИИ . . , 2

14 ., 1 ., 9 ., 7 . , , , -1891 , . : ); SiNx, ( SiO2 - 90 300 . — , , SiO2 , , , , . « ё -1891 » ё , . 3 SiO2,

........................................................................................5 . .................................8 . ..................11 . ..............................................................................................................14 . 4

1. – , . : i  Ex   Ex e x   E   i y   E E e y    y  Ex (1) Ey , δ – . 1–C φ. , . , φ, , . . , , . . 5

, , , , , . . �� = �� = Esomp ,EЬ ,Ep �� пад = �� = �� пад (2) (3) ,Ep , Ь p , ЫЬ , . δs δp – Ыp , Ь , . p . , , :  Rp Rs  rp i p  s  e rs (4) :   tg ( )ei (5) Ψ, Δ , . Ψ , Δ– . : r  Rp Rs (6) 6

p Ь . , , : ei tg   ( N0 , N1 , N2 , d , 0 ,  ) (7) NТ – , N=Ч+ТФ (Ч – – , ,Ф– ), Н , φ0 – ,λ– . :   arctg  ( N0 , N1 , N 2 , d , 0 ,  )   arg(  ( N0 , N1 , N 2 , d , 0 ,  )) (8) : (9) [B] = 100* 7 -2 .

2. Spectr. ( B=140 q ) 2 A , ё 1.2 ё 3. 3. : A, B 1. ; 1– D, B, 100* A №41 595 1.579 137.9 №43 678 1.489 146.0 -2 2– №41, 595 , =1.579 B=137.9 3– №43 678 , =1.489 B=146.0 8

№41 A=1.579 n=1.634 A=1.479 4 ( 1.547 . λ > 450 5). , , , № 43 №43 λ = 500 №41 , q. 4 – ( ψ – 5 – ( Δ ψ , – ) № 41 , – ) № 43 Δ – 9

, ( 6 – ( ψ 6). Δ – , 10 – ) № 43

3. 60 º . ё ё , , ё 7. 2 V = 1.22±0.2 /c. 2– . № Н Э ( ) ( ) rrm 001-047 rrm 001-046 rrm 001-045 rrm 001-044 rrm 001-042 32 69 96 140 215 30 60 90 120 180 7– 11

ё ( 8). , ё 100 8– (~14%). , , 45-60º , 3 . 9. 4 3– d60( d55( d50( d45( ё ) ) ) ) rrm 001-047 36,59 25,82 38,74 44,23 rrm 001-046 74,33 71,52 71,56 70,61 rrm 001-045 113,23 113,55 116,17 118,33 12 . rrm 001-044 152,07 rrm 001-042 226,56

4– . d60( d55( d50( d45( )-d )-d )-d )-d ( ( ( ( ) ) ) ) rrm 001-047 rrm 001-046 rrm 001-045 4,59 -6,18 6,74 12,23 5,33 2,52 2,56 1,61 17,23 17,55 20,17 22,33 9– ё , , , . , , . . . 13 , ё ,

: 4. : : 1. 5– D, B, 100* A №41 595 1.579 137.9 №43 678 1.489 146.0 ё 2. SiO2: V = 1.22±0.2 -2 /М; : 3. 6– d60( d55( d50( d45( 4. ё ) ) ) ) rrm 001047 36,59 25,82 38,74 44,23 rrm 001046 74,33 71,52 71,56 70,61 rrm 001045 113,23 113,55 116,17 118,33 , , rrm 001044 152,07 rrm 001-042 226,56 : 7– d60( d55( d50( d45( 5. )-d )-d )-d )-d ( ( ( ( ) ) ) ) rrm 001047 4,59 -6,18 6,74 12,23 rrm 001046 5,33 2,52 2,56 1,61 , , 14 rrm 001045 17,23 17,55 20,17 22,33 .

Рецензии:

Авторизуйтесь, чтобы добавить рецензию

- у работы пока нет рецензий -

Отзывы:

Авторизуйтесь, чтобы оставить отзыв