НИР. Объектом исследования являются: Плёнки SiO2 различных толщин (от 90 до 300 нм); SiNx, оптический резист -- с вытравленными окнами в плёнках. Цель работы: Получение навыков работы на эллипсометре, определение толщин и коэффициентов преломления фоторезистов, измерение толщин плёнок под различными углами падения, сравнение резул...
НИР. Объектом исследования являются: латунь (образец №1) и тонкая плёнка HfZrO (образец №2). Цель работы — изучение метода ZAF коррекции, получение навыков анализа и обработки данных, измерение весовой и атомной долей в образцах, определение марки латуни и толщины плёнки HfZrO. В работе использовался микроскоп FEI Quanta 200, оснащённый с...
НИР. Объектом исследования являются: МШПС 2.0K (образец №1) и кремниевая пластина (образец №2). Цель работы — изучение методов работы АСМ, получение навыков анализа и обработки данных, калибровка АСМ с использованием МШПС 2.0К, оценка шероховатости образца №2 в полуконтактном режиме работы. В работе использовался микроскоп Ntegra Aura, с п...
НИР. Объектом исследования является объект с шаговой рельефной структурой с известным шагом. Цель работы — изучение методов работы растрового электронного микроскопа, получение навыков анализа и обработки данных, определение масштабного коэффициента при различных параметрах микроскопа, измерение ширины выступа методом дефокусировки и сравнени...
НИР. Цель работы: Получение первичных навыков работы за просвечивающим электронным микроскопом, изучение способов определения масштабного коэффициента для требуемых увеличений, изучение способов измерения линейных размеров исследуемых объектов. Данная работа посвящена изучению основных принципов работы просвечивающего электронного микроско...
НИР. Объектом исследования являются: периодические рельефные структуры, сформированные на поверхности пластины монокристаллического кремния методом анизотропного травления. Цель работы: изучение методов работы оптического микроскопа, получение навыков анализа и обработки данных, измерение периода и скважности кремниевых структур, ...
Выпускная квалификационная работа. Аннотация. Целью квалификационной работы является экспериментальное и теоретическое исследование магнитостатических волн, индуцированных сфокусированными (5 мкм), периодическими (80 МГц), фемтосекундными (100фс) лазерными импульсами в эпитаксиальных плёнках железо-иттриевого граната. В рамках данной раб...