Исследование и анализ оптико-электронной системы регистрации атомно-силового микроскопа

Предложен метод измерения параматеров качества (Rq - среднее квадратическое отклонение высот контролируемого профиля, PSD (от англ.) - спектральная плотность мощности корреляционной функции (СПКФ) исследуемого профиля) калибровочных решеток при помощи атомно-силового микроскопа (АСМ). Проведен сравнительный анализ методов контроля положения к...