Подготовка катализатора и осаждение углеродных нанотрубок плазмохимическим методом

В работе рассмотрена возможность получения эффективного катализатора в виде тонкой пленки железа методом катодного распыления для осаждения углеродных нанотрубок. Для контроля толщины тонких пленок разработана методика, основанная на фотоколориметрическом методе. Для проверки эффективности каталитических структур на них были осаждены массивы углеродных нанотрубок методом плазмохимического химического осаждения из газовой фазы в плазме разряда постоянного тока. Рассмотрены роль толщины слоя катализатора и температуры при осаждении углеродных нанотрубок на полученных каталитических структурах.