Исследовано влияние водорода на электрофизические и газочувствительные свойства эпитаксиальной пленки с заданной полиморфной структурой α-Ga2O3/ε-Ga2O3. Структуры были сформированы на профилированной сапфировой подложке методом хлоридной газофазной эпитаксии, в плоскости перпендикулярной подложке. Выявлено, что полученные пленки проявляют чувств...
Электроника. Радиотехника - Дипломы
около 4 лет назад