Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (ФГБОУ ВПО «СПбГПУ»)
Студент
Ключевые слова: АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ОКСИД ТАНТАЛА, НАНОПЛЁНКИ, ЛИТИЙ-ИОННЫЕ АККУМУЛЯТОРЫ, АНОДЫ. Тема выпускной квалификационной работы: «Атомно слоевое осаждение пленок системы Ta-O». Целью работы было получение наноплёнок оксида тантала методом АСО и исследование их физико-химических свойств. Для получения плёнок Ta-O использовался ме...
Химическая технология. Химическая промышленность - Дипломы
больше 3 лет назад