Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (ФГБОУ ВПО «СПбГПУ»)
Бакалавр
Целью работы являлось создание автоматизированной установки реактивного магнетронного распыления. Метод реактивного магнетронного распыления является одним из перспективных методов формирования пленок различных химических соединений, в том числе и тонких диэлектрических пленок. Позволяет создавать сложные слоистые структуры, манипулируя расходо...