18.16

Илья Белянов

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет (ФГБОУ ВПО «СПбГПУ»)

Бакалавр


Разработка и создание установки реактивного магнетронного распыления

Целью работы являлось создание автоматизированной установки реактивного магнетронного распыления. Метод реактивного магнетронного распыления является одним из перспективных методов формирования пленок различных химических соединений, в том числе и тонких диэлектрических пленок. Позволяет создавать сложные слоистые структуры, манипулируя расходо...

1

203   0   1

Приборостроение

Дипломы

Дата публикации: 12.06.2021 18:46


Для лиц старше 18 лет